電子光學(xué)系統包括電子槍、電磁透鏡、消像散器和掃描線(xiàn)圈等。其功能是產(chǎn)生一定能量的電子束、足夠大的電子束流、盡可能小的電子束直徑，產(chǎn)生一個(gè)穩定的X 射線(xiàn)激發(fā)源。