激光干涉儀工作原理

2013-06-25

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干涉儀是以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度、利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。